工艺冷却水系统有哪些部分组成？

　　工艺冷却水系统由以下几部分组成：冷水机组、泵、热交换器、水箱、过滤器、工艺设备。如图1所示。

　　冷水机组：给冷却水系统提供冷源。

　　水泵：对水加压，保证其在冷却系统中循环流动。

　　热交换器：利用此设备使冷冻水系统与冷却水系统产生热交换，以将此系统负载端产生的热量传送给冷冻水系统。热交换器种类繁多，按其形式可分管壳式、板式、板翅式、热管式等。相比较而言，板式热交换器具有占地面积小，传热面积大的优点，考虑到半导体厂房空间面积造价特点，优选占地面积小的设备，节约用地面积，节省了工程造价。

　　水箱：开式系统中水箱主要起到补充水源作用。闭式系统中水箱需要选择膨胀水箱，膨胀水箱有三个作用，一是收容和补偿系统中水的胀缩量；二是向密闭式循环水系统提供稳定的压力，起到系统稳压的作用；三是作为系统补水泵的指示，通常由膨胀水箱发出信号启动或关闭系统补水泵。

　　过滤器：过滤掉水中的固体颗粒杂质，净化水源。

　　工艺冷却水系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统，冷冻水由冷水机组提供，冷冻水与冷却水进行热交换，使冷却水降温从而降低设备的温度。从生产设备抽水经水泵至热交换器通过控制冷冻水的量来保证工艺冷却水的水温，通过过滤器后送至生产线设备，再回到水泵。构成工艺冷却水反复循环。冷冻水则直接回冷水机组。