接触式干涉仪 contact interferometer

来源:建筑界编辑:黄子俊发布时间:2020-03-24 19:41:37

[摘要] 根据光波干涉原理,采用相对测量法,用以检定尺寸小于150mm的量块和精密工件的光学量仪。

根据光波干涉原理,采用相对测量法,用以检定尺寸小于150mm的量块和精密工件的光学量仪。

接触式干涉仪,contact,interferometer

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